Разработка системы охлаждения для спроектированной цилиндрической МРС
Bibliographic entry
Мацкевич, Э. П. Разработка системы охлаждения для спроектированной цилиндрической МРС / Э. П. Мацкевич ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (25 ноября 2022 г.) : в 2 ч. / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – Ч. 2. – С. 65-67.
Abstract
В данной статье описана проблематика охлаждения мишеней в современных магнетронных распылительных системах. Разработана конструкция системы охлаждения цилиндрической магнетронной распылительной системы.