Пленки SiNx с механическими напряжениями в диапазоне от –10 до –625 МПа синтезированы в реакторе индуктивно-связанной плазмы (ICP) из смеси «SiH4 – N2 – Ar». Обогащение нитридных пленок азотом приводит к снижению механических напряжений до –10 МПа. При подъеме мощности ICP-источника механические напряжения возрастают вплоть до –625 МПа при 800 Вт. Варьирование температуры осаждения ...

В данной работе представлена современная методология, стимулирующая удовлетворение потребностей потребителей: QFD.

Представлены результаты исследований полупроводникого газового сенсора с нагревателем кремниевого из монокристаллического кремния. Приведены вольтамперные и температурные зависимости кремнивого нагревателя. Максимальное значение химического отклика на воздушную смесь с содержанием 0,49 об% CH4 получено при мощности нагревателя 108,12–111,47 мВт.

Выявлены свойства инвариантности экспериментально апробированной модели одномодового Nd:YAG лазера с диодной накачкой, обладающего линейной амплитудной и фазовой анизотропией резонатора. Объяснены экспериментально наблюдаемые закономерности и обнаружен ряд не известных ранее эффектов нелинейной динамики, присущих анизотропным лазерам класса В: бистабильность асимметричных ...

Разработан метод послойного качественного и количественного исследования ржавчины на изделиях из сплавов на основе железа методом двухимпульсной лазерной атомно-эмиссионной спектроскопии с помощью спектрометра ЛАЭМС. Использования метода отрицательной расфокусировки для снижения плотности мощности лазерного излучения и, соответсвенно, толщины испаряемого слоя, дает возможность ...

Приведены результаты анализа существующих подходов к совершенствованию СМК. Рассмотрены основные аспекты подхода Кайцен применительно к производственным процессам. Определена тактика применения подхода, этапы его реализации. Определены основные задачи применительно к производственным процессам, предложены основные инструменты для их решения. Приведен пример практического применения ...

Издание включает материалы 15-й Международной научно-технической конференции «Приборостроение–2022» по направлениям: измерительные системы и приборы, технические средства безопасности; методы исследований и метрологическое обеспечение измерений; физические, физико-математические, материаловедческие и технологические основы приборостроения; оптико-электронные системы, лазерная ...

Проанализированы перспективы применения гиперболических отражателей для увеличения углового размера светового пучка в светодиодных светильниках. Показано, что за счет увеличения длины хода светового пучка в этом случае уменьшается освещенность плоскости.

Предложен подход разработки процесса оценивания неопределенности методики измерений, в основу которого положен метод морфологического ящика как метод разработки многомерных объектов в случаях, когда обычные методы моделирования не дают нужного результата. Основные положения подхода адаптированы к задаче разработки приемлемого для конкретного случая метода оценивания неопределенности ...

Выполнен сравнительный анализ эффективности использования МЭМС-микрофонов и контактных пьезоэлектрических датчиков для определения собственных частот колебаний кольцевых концентраторов ультразвука интегральным методом свободных колебаний. На основе результатов экспериментальных исследований установлено, что недостатком МЭМС-микрофонов является сравнительно низкая чувствительность ...