Применение МЭМС-микрофонов для исследования частотных характеристик кольцевых концентраторов ультразвука
Another Title
Application of MEMS-microphones for the study of frequency responses of ring-shaped ultrasonic horns
Bibliographic entry
Степаненко, Д. А. Применение МЭМС-микрофонов для исследования частотных характеристик кольцевых концентраторов ультразвука = Application of MEMS-microphones for the study of frequency responses of ring-shaped ultrasonic horns / Д. А. Степаненко, А. Н. Киндрук // Приборостроение-2022 : материалы 15-й Международной научно-технической конференции, 16-18 ноября 2022 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 459-460.
Abstract
Выполнен сравнительный анализ эффективности использования МЭМС-микрофонов и контактных пьезоэлектрических датчиков для определения собственных частот колебаний кольцевых концентраторов ультразвука интегральным методом свободных колебаний. На основе результатов экспериментальных исследований установлено, что недостатком МЭМС-микрофонов является сравнительно низкая чувствительность к собственным частотам звукового диапазона. Однако в случаях, когда эти частоты не представляют интереса, использование МЭМС-микрофонов дает по сравнению с пьезоэлектрическими датчиками такие преимущества как бесконтактный характер измерений, возможность многократного ис- пользования датчика и воспроизводимость результатов измерений.
Abstract in another language
The article presents comparative analysis of efficiency of MEMS-microphones and contact piezoelectric sensors in determination of natural vibration frequencies of ring-shaped ultrasonic horns by means of integral method of free vibrations. On the basis of experimental studies it was shown that the main drawback of MEMS-microphones is their relatively low sensitivity to the natural frequencies of the audible range. However in the cases, when these frequencies are not of interest, MEMS-microphones provide with regard to piezoelectric sensors such advantages as non-contact nature of measurements, possibility of repeated use of the sensor and reproducibility of measurements.