Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремния
Another Title
Semiconductor gas sensor with monocrystal silicon heater
Bibliographic entry
Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремния = Semiconductor gas sensor with monocrystal silicon heater / И. А. Таратын [и др.] // Приборостроение-2022 : материалы 15-й Международной научно-технической конференции, 16-18 ноября 2022 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 461-462.
Abstract
Представлены результаты исследований полупроводникого газового сенсора с нагревателем кремниевого из монокристаллического кремния. Приведены вольтамперные и температурные зависимости кремнивого нагревателя. Максимальное значение химического отклика на воздушную смесь с содержанием 0,49 об% CH4 получено при мощности нагревателя 108,12–111,47 мВт.
Abstract in another language
The results of studies of a semiconductor gas sensor with a silicon heater made of single-crystal silicon are presented. The current-voltage and temperature dependences of the silicon heater are given. The maximum value of the chemical response to 0.49 vol% CH4 was obtained at a heater power of 108.12–111.47 mW.