Белорусский национальный технический университет
Repository of the Belarusian National Technical University
ISSN: 2310-7405
Repository of the Belarusian National Technical University
View Item 
  •   Repository BNTU
  • Внеуниверситетские публикации ученых БНТУ
  • Публикации в изданиях Республики Беларусь
  • View Item
  •   Repository BNTU
  • Внеуниверситетские публикации ученых БНТУ
  • Публикации в изданиях Республики Беларусь
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Методы картирования приборных слоев полупроводниковых пластин

Thumbnail
Authors
Воробей, Р. И.
Гусев, О. К.
Жарин, А. Л.
Пантелеев, К. В.
Самарина, А. В.
Свистун, А. И.
Тявловский, А. К.
Тявловский, К. Л.
Date
2017
Publisher
Белорусско-Российский университет
Another Title
Methods of device layers mapping for semiconductor wafers
Bibliographic entry
Методы картирования приборных слоев полупроводниковых пластин = Methods of device layers mapping for semiconductor wafers / Р. И. Воробей [и др.] // Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов : сборник статей 6-й Международной научно-технической конференции, Могилев, 19-20 сентября 2017 г. / Белорусско-Российский университет ; отв. ред. И. С. Сазонов. – Могилев : Белорусско-Российский университет, 2017. – С. 210-215.
Abstract
В статье выполнен сравнительный анализ методов картирования приборных слоев полупроводниковых пластин. Показана перспективность методов на основе регистрации изменений потенциала поверхности зондовым электрометрическим преобразователем в режиме статической либо динамической фотоЭДС, отличающихся полностью неразрушающим характером измерений и позволяющих получить ряд новых количественных и качественных характеристик приборных слоев.
Abstract in another language
Methods of device layers mapping for semiconductor wafers are discussed and compared. Probe electrometry methods based on surface potential registration in a static or dynamic SPV mode allow a completely non-destruction testing that gives a number of new quantitative and qualitative parameters of the device layers.
URI
https://rep.bntu.by/handle/data/91961
View/Open
Metody_kartirovaniya.pdf (413.3Kb)
Collections
  • Публикации в изданиях Республики Беларусь[3461]
Show full item record
CORE Recommender

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
 

Browse

All of Repository BNTUCommunities & CollectionsAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateTypeThis CollectionAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateType

My Account

LoginRegister

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us