Анализ нанесения алмазоподобных покрытий при помощи торцевого холловского ускорителя
Bibliographic entry
Герасимович, П. А. Анализ нанесения алмазоподобных покрытий при помощи торцевого холловского ускорителя / П. А. Герасимович, Е. А. Шатило ; науч. рук. Р. В. Пигаль // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (25 ноября 2022 г.) : в 2 ч. / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – Ч. 2. – С. 19-22.
Abstract
Рассматриваются вопросы нанесения алмазоподобных покрытий (DLC-покрытий) при помощи торцевого холловского ускорителя (ТХУ). Описаны основные технологические проблемы нанесения DLC-покрытий различными способами. Оцениваются экспериментальные результаты покрытий, полученных при помощи ТХУ.