Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Мацкевич, Э. П."
Now showing items 1-3 of 3
-
Анализ способов металлизации текстильных материалов
Мацкевич, Э. П. (БНТУ, 2023)В данной статье рассматриваются способы получения тонких пленок на текстильные материалы. Описано влияние низкотемпературной плазмы на свойства текстиля.2023-03-24 -
Разработка системы охлаждения для спроектированной цилиндрической МРС
Мацкевич, Э. П. (БНТУ, 2023)В данной статье описана проблематика охлаждения мишеней в современных магнетронных распылительных системах. Разработана конструкция системы охлаждения цилиндрической магнетронной распылительной системы.2023-03-24 -
Разработка технологической оснастки цилиндрической магнетронной распылительной системы
Мацкевич, Э. П. (БНТУ, 2023)В данной статье рассмотрены этапы проектирования технологической оснастки для цилиндрической МРС. Выбран материал мишени, ее форма и размеры. Также была спроектирована планетарная передача для осуществления вращения катода при статичной МРС.2023-03-24