Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Комаров, Ф. Ф."

Now showing items 1-5 of 5

    • Влияние верхнего оксидного слоя в оптических микрорезонаторах на основе нитрида кремния 

      Пархоменко, И. Н.; Власукова, Л. А.; Комаров, Ф. Ф.; Романов, И. А.; Альжанова, А. Е.; Демидович, С. А.; Ковальчук, Н. С. (БНТУ, 2022)
      Структуры SiNx/SiOx и SiOx/SiNx/SiOx были изготовлены на кремниевых подложках методами химического осаждения (PECVD, LPCVD). Показано, что верхний слой оксида кремния защищает нижележащий нитридный слой от непреднамеренного окисления во время быстрого термического отжига в инертной среде (1100 °C, 3 мин). Кроме того, верхний слой оксида кремния увеличивает выход фотолюминесценции ...
      2022-12-28

    • Влияние режимов импульсного лазерного отжига на оптические свойства кремния, гипердопированного селеном, для фотодетекторов видимого и ик-диапазонов 

      Комаров, Ф. Ф.; Пархоменко, И. Н.; Мильчанин, О. В.; Моховиков, М. А.; Ивлев, Г. Д.; Власукова, Л. А.; Альжанова, А. Е.; Ван, Тин (БНТУ, 2022)
      Слои кремния, легированные селеном до концентраций (4–6)ꞏ1020 см–3, что на 4 порядка величины превышает предел равновесной растворимости этой примеси, получены ионной имплантацией с последующим импульсным лазерным отжигом (ИЛО) при плотностях энергии в импульсе W = 0,55; 0,8; 1,0; 1,5; 2,0 и 2,5 Дж/см2. Методом обратного резерфордовского рассеяния ионов гелия показано, что до ...
      2022-12-28

    • Моделирование радиационных изменений рабочих характеристик биполярных транзисторов 

      Мискевич, С. А.; Комаров, А. Ф.; Комаров, Ф. Ф.; Ювченко, В. Н.; Ермолаев, А. П. (БНТУ, 2022)
      Разработана физико-математическая модель для расчета изменения рабочих характеристик n-pn биполярных транзисторов в условиях облучения нейтронами 1,4 МэВ. Создана управляющая программа и проведены численные расчеты коэффициента усиления (КУ) тока и выходных характеристик прибора.
      2022-12-28

    • Пленки SinX с низкими механическими напряжениями для микросистемных применений, синтезированные в ICP-реакторе 

      Ковальчук, Н. С.; Демидович, С. А.; Комаров, Ф. Ф.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н. (БНТУ, 2022)
      Пленки SiNx с механическими напряжениями в диапазоне от –10 до –625 МПа синтезированы в реакторе индуктивно-связанной плазмы (ICP) из смеси «SiH4 – N2 – Ar». Обогащение нитридных пленок азотом приводит к снижению механических напряжений до –10 МПа. При подъеме мощности ICP-источника механические напряжения возрастают вплоть до –625 МПа при 800 Вт. Варьирование температуры осаждения ...
      2022-12-28

    • Свойства наноструктурированных нитридных покрытий TiAlCuN для микромеханических приборов 

      Константинов, С. В.; Комаров, Ф. Ф.; Чижов, И. В.; Зайков, В. А. (БНТУ, 2022)
      Сформированы нитридные покрытия TiAlCuN на подложках из монокристаллического кремния (100) и титана марки ВТ1-0 магнетронным методом. Проведены исследования элементного состава, структуры и механических свойств полученных покрытий. Установлено, что уменьшение степени реактивности α от значения α = 0,60 до величины α = 0,47 приводит к увеличению скорости осаждения покры- тия TiAlCuN ...
      2022-12-28