Свойства наноструктурированных нитридных покрытий TiAlCuN для микромеханических приборов
Another Title
Properties of nanostructured TiAlCuN nitride coatings for micromechanical devices
Bibliographic entry
Свойства наноструктурированных нитридных покрытий TiAlCuN для микромеханических приборов = Properties of nanostructured TiAlCuN nitride coatings for micromechanical devices / С. В. Константинов [и др.] // Приборостроение-2022 : материалы 15-й Международной научно-технической конференции, 16-18 ноября 2022 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 447-448.
Abstract
Сформированы нитридные покрытия TiAlCuN на подложках из монокристаллического кремния (100) и титана марки ВТ1-0 магнетронным методом. Проведены исследования элементного состава, структуры и механических свойств полученных покрытий. Установлено, что уменьшение степени реактивности α от значения α = 0,60 до величины α = 0,47 приводит к увеличению скорости осаждения покры- тия TiAlCuN на 23 %. Полученные покрытия являются однородными, плотными и не содержат видимых дефектов по всей площади поверхности. Твердость покрытий TiAlСuN варьируется в диапазоне H = 23–36 ГПа, модуль Юнга – E = 170–270 ГПа, что удовлетворяет требованиям для покрытий, пригодных для эксплуатации в микромеханических приборах авиационной и космической техники.
Abstract in another language
Nitride TiAlCuN coatings were formed on substrates made of single-crystal silicon (100) and titanium grade VT1-0 by magnetron method. Investigations of the elemental composition, structure and mechanical properties of the obtained coatings have been carried out. It has been found that a decrease in the degree of reactivity α from α = 0.60 to α = 0.47 leads to an increase in the deposition rate of the TiAlCuN coating by 23 %. The resulting coatings are homogeneous, dense and do not contain visible defects over the entire surface area. The hardness of TiAlCuN coatings varies in the range of H = 23–36 GPa, Young's modulus – E = 170–270 GPa, which meets the requirements for coatings suitable for use in micromechanical devices of aviation and space technologies.