Свойства наноструктурированных нитридных покрытий TiAlCuN для микромеханических приборов

Abstract

Сформированы нитридные покрытия TiAlCuN на подложках из монокристаллического кремния (100) и титана марки ВТ1-0 магнетронным методом. Проведены исследования элементного состава, структуры и механических свойств полученных покрытий. Установлено, что уменьшение степени реактивности α от значения α = 0,60 до величины α = 0,47 приводит к увеличению скорости осаждения покры- тия TiAlCuN на 23 %. Полученные покрытия являются однородными, плотными и не содержат видимых дефектов по всей площади поверхности. Твердость покрытий TiAlСuN варьируется в диапазоне H = 23–36 ГПа, модуль Юнга – E = 170–270 ГПа, что удовлетворяет требованиям для покрытий, пригодных для эксплуатации в микромеханических приборах авиационной и космической техники.