Конфигурация магнитной системы для формирования разряда низкого давления в магнетронных распылительных системах
Bibliographic entry
Конфигурация магнитной системы для формирования разряда низкого давления в магнетронных распылительных системах / В. М. Комаровская [и др.] // Инновационные технологии и образование : международная научно-практическая конференция, 29-30 апреля 2021 г. : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – Ч. 1. – С. 213-217.
Abstract
Авторами данной работы показано, что основной проблемой при формировании покрытий с использованием магнетронных распылительных систем является сравнительно высокое давление рабочего газа, при котором возникает магнетронный разряд – порядка 0,1 Па. Проанализированы существующие методы уменьшения рабочего давления МРС ниже уровня 0,1 Па. В данной работе предложена схема МРС с дополнительными магнитами, которая позволит снизить рабочее давление в камере вплоть до 10-2 Па.