| dc.contributor.author | Комаровская, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Терещук, О. И. | ru |
| dc.contributor.author | Латушкина, С. Д. | ru |
| dc.contributor.author | Пологов, А. С. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-07-15T08:46:20Z | |
| dc.date.available | 2021-07-15T08:46:20Z | |
| dc.date.issued | 2021 | |
| dc.identifier.citation | Конфигурация магнитной системы для формирования разряда низкого давления в магнетронных распылительных системах / В. М. Комаровская [и др.] // Инновационные технологии и образование : международная научно-практическая конференция, 29-30 апреля 2021 г. : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – Ч. 1. – С. 213-217. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/97387 | |
| dc.description.abstract | Авторами данной работы показано, что основной проблемой при формировании покрытий с использованием магнетронных распылительных систем является сравнительно высокое давление рабочего газа, при котором возникает магнетронный разряд – порядка 0,1 Па. Проанализированы существующие методы уменьшения рабочего давления МРС ниже уровня 0,1 Па. В данной работе предложена схема МРС с дополнительными магнитами, которая позволит снизить рабочее давление в камере вплоть до 10-2 Па. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Конфигурация магнитной системы для формирования разряда низкого давления в магнетронных распылительных системах | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
