Материаловедение и технология тонкопленочных сенсорных структур
Another Title
Лабораторные работы для специальности 1-55 01 02 "Интегральные сенсорные системы"
Bibliographic entry
Материаловедение и технология тонкопленочных сенсорных структур : лабораторные работы для специальности 1-55 01 02 "Интегральные сенсорные системы" / сост.: А. В. Сергейченко, А. А. Шевченок. – Минск : БНТУ, 2009. – 80 с.
Abstract
Курс лабораторных работ имеет своей целью сформировать у студентов теоретические знания по материаловедению сенсорных структур; обучить математическому расчету и компьютерному моделированию процессов микропрофилирования полупроводниковых материалов; обучить компьютерному моделированию микрокантилеверов с помощью программного комплекса ANSYS 5.7ED. Выполнение работ позволит студентам лучше разобраться в принципах микропрофилирования. Все этапы моделирования содержат подробное описание выполняемых операций, что позволит выполнять работу самостоятельно. Курс предназначен студентам специальности 1-55 01 02 «Интегральные сенсорные системы» и рассчитан на 17 часов занятий в компьютерной лаборатории сенсорных систем.