| dc.contributor.other | Сергейченко, А. В. | ru |
| dc.contributor.other | Шевченок, А. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2013-06-07T13:06:51Z | |
| dc.date.available | 2013-06-07T13:06:51Z | |
| dc.date.issued | 2009 | |
| dc.identifier.citation | Материаловедение и технология тонкопленочных сенсорных структур : лабораторные работы для специальности 1-55 01 02 "Интегральные сенсорные системы" / сост.: А. В. Сергейченко, А. А. Шевченок. – Минск : БНТУ, 2009. – 80 с. | ru |
| dc.identifier.isbn | 978-985-525-200-0 | |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/4981 | |
| dc.description.abstract | Курс лабораторных работ имеет своей целью сформировать у студентов теоретические знания по материаловедению сенсорных структур; обучить математическому расчету и компьютерному моделированию процессов микропрофилирования полупроводниковых материалов; обучить компьютерному моделированию микрокантилеверов с помощью программного комплекса ANSYS 5.7ED. Выполнение работ позволит студентам лучше разобраться в принципах микропрофилирования. Все этапы моделирования содержат подробное описание выполняемых операций, что позволит выполнять работу самостоятельно. Курс предназначен студентам специальности 1-55 01 02 «Интегральные сенсорные системы» и рассчитан на 17 часов занятий в компьютерной лаборатории сенсорных систем. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Материаловедение и технология тонкопленочных сенсорных структур | ru |
| dc.title.alternative | Лабораторные работы для специальности 1-55 01 02 "Интегральные сенсорные системы" | ru |
| dc.type | Learning Object | ru |
| dc.type | Book | ru |
