Принципы построения и структурные схемы зондовых автоматических систем контроля параметров изделий микро- и наноэлектроники на пластине
Bibliographic entry
Принципы построения и структурные схемы зондовых
автоматических систем контроля параметров изделий
микро- и наноэлектроники на пластине / Минченко В. А., Ковальчук Г. Ф., Школык С. Б. // Приборы и методы измерений: научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal / гл. ред. Гусев О. К. ; кол. авт. Министерство образования Республики Беларусь ; кол. авт. Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2012. – №2 (5). – С. 67 - 75.
Abstract
Предложены принципы построения и структурные схемы зондовых систем для аналитического и межоперационного измерения и контроля быстродействующих микро- и наносистем на пластине в наносекундном диапазоне. Определены источники искажений широкополосных сигналов и погрешностей зондовых систем контроля, а также переходные характеристики широкополосных контактирующих устройств для контроля больших интегральных схем (БИС) в наносекундном диапазоне с помощью рефлектометрической установки с пикосекундным временным разрешением. Представлены особенности и определены погрешности прецизионных позиционеров на линейных шаговых двигателях и магнитовоздушной подушке для точного позиционирования зондов на контактные площадки БИС при автоматическом зондировании полупроводниковых пластин.
View/
Collections
- №2 ( 5 )[17]