Show simple item record

dc.contributor.authorМинченко, В. А.ru
dc.contributor.authorКовальчук, Г. Ф.ru
dc.contributor.authorШколык, С. Б.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2013-02-14T09:28:33Z
dc.date.available2013-02-14T09:28:33Z
dc.date.issued2012
dc.identifier.citationПринципы построения и структурные схемы зондовых автоматических систем контроля параметров изделий микро- и наноэлектроники на пластине / Минченко В. А., Ковальчук Г. Ф., Школык С. Б. // Приборы и методы измерений: научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal / гл. ред. Гусев О. К. ; кол. авт. Министерство образования Республики Беларусь ; кол. авт. Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2012. – №2 (5). – С. 67 - 75.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/4182
dc.description.abstractПредложены принципы построения и структурные схемы зондовых систем для аналитического и межоперационного измерения и контроля быстродействующих микро- и наносистем на пластине в наносекундном диапазоне. Определены источники искажений широкополосных сигналов и погрешностей зондовых систем контроля, а также переходные характеристики широкополосных контактирующих устройств для контроля больших интегральных схем (БИС) в наносекундном диапазоне с помощью рефлектометрической установки с пикосекундным временным разрешением. Представлены особенности и определены погрешности прецизионных позиционеров на линейных шаговых двигателях и магнитовоздушной подушке для точного позиционирования зондов на контактные площадки БИС при автоматическом зондировании полупроводниковых пластин.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleПринципы построения и структурные схемы зондовых автоматических систем контроля параметров изделий микро- и наноэлектроники на пластинеru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udc621. 382. 088 (088)ru
dc.relation.journalПриборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journalru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record