Установка для исследования параметров магнетронной и лазерной плазмы
Bibliographic entry
Установка для исследования параметров магнетронной и лазерной плазмы / Бурмаков А. П., Зайков В. А., Комаров Ф. Ф., Людчик О. Р., Солодухо Д. А. // Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal / гл. ред. Гусев О. К. ; кол. авт. Министерство образования Республики Беларусь ; кол. авт. Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2012. – №1(4). – С. 37 - 40.
Abstract
В работе рассмотрены различные модификации установки для импульсного лазерного и магнетронного осаждения тонкопленочных структур с контролируемыми условиями формирования плазменного потока и возможностью исследования параметров плазмы. Предложены варианты для совместного и раздельного осаждения слоев. Разработанная установка расширяет энергетический, зарядовый и элементный состав формируемой плазмы как основной компоненты при осаждении тонкопленочных покрытий.
View/
Collections
- №1 ( 4 )[21]