Show simple item record

dc.contributor.authorБурмаков, А. П.ru
dc.contributor.authorЗайков, В. А.ru
dc.contributor.authorКомаров, Ф. Ф.ru
dc.contributor.authorЛюдчик, О. Р.ru
dc.contributor.authorСолодухо, Д. А.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2013-02-05T07:33:59Z
dc.date.available2013-02-05T07:33:59Z
dc.date.issued2012
dc.identifier.citationУстановка для исследования параметров магнетронной и лазерной плазмы / Бурмаков А. П., Зайков В. А., Комаров Ф. Ф., Людчик О. Р., Солодухо Д. А. // Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal / гл. ред. Гусев О. К. ; кол. авт. Министерство образования Республики Беларусь ; кол. авт. Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2012. – №1(4). – С. 37 - 40.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/4101
dc.description.abstractВ работе рассмотрены различные модификации установки для импульсного лазерного и магнетронного осаждения тонкопленочных структур с контролируемыми условиями формирования плазменного потока и возможностью исследования параметров плазмы. Предложены варианты для совместного и раздельного осаждения слоев. Разработанная установка расширяет энергетический, зарядовый и элементный состав формируемой плазмы как основной компоненты при осаждении тонкопленочных покрытий.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleУстановка для исследования параметров магнетронной и лазерной плазмыru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udc621.373.825:539.2ru
dc.relation.journalПриборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journalru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record