Метод и установка контроля плоскостности кремниевых пластин

Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Понарядов, В. В.; Шведов, С. В.; Петлицкий, А. Н.

Authors

Date

2011

Publisher

БНТУ

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc

621.38

Bibliographic entry

Пилипенко, В. А. Метод и установка контроля плоскостности кремниевых пластин / В. А. Пилипенко, В. А. Горушко, В. В. Понарядов, С. В. Шведов, А. Н. Петлицкий // Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal / гл. ред. Романюк Ф.А. ; кол. авт. Министерство образования Республики Беларусь ; кол. авт. Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2011. – №1(2). – С.71–76.

Abstract

Предложен метод и разработана установка лазерного контроля стрелы прогиба и профиля изгиба полупроводниковых пластин. Метод основан на регистрации отклонения отраженного лазерного луча от положения, соответствующего отражению от идеально плоской поверхности. Установлено, что по результатам определения угла наклона касательной в любой точке поверхности, определяемой путем сканирования полупроводниковой пластины лазерным лучом, возможно определение ее профиля изгиба.