| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Горушко, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Понарядов, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Шведов, С. В. | ru |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date | 2011 | ru |
| dc.date.accessioned | 2012-03-26T11:19:49Z | |
| dc.date.available | 2012-03-26T11:19:49Z | |
| dc.date.issued | 2011 | |
| dc.identifier.citation | Пилипенко, В. А. Метод и установка контроля плоскостности кремниевых пластин / В. А. Пилипенко, В. А. Горушко, В. В. Понарядов, С. В. Шведов, А. Н. Петлицкий // Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal / гл. ред. Романюк Ф.А. ; кол. авт. Министерство образования Республики Беларусь ; кол. авт. Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2011. – №1(2). – С.71–76. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/1877 | |
| dc.description.abstract | Предложен метод и разработана установка лазерного контроля стрелы прогиба и профиля изгиба полупроводниковых пластин. Метод основан на регистрации отклонения
отраженного лазерного луча от положения, соответствующего отражению от идеально плоской поверхности. Установлено, что по результатам определения угла наклона
касательной в любой точке поверхности, определяемой путем сканирования полупроводниковой пластины лазерным лучом, возможно определение ее профиля изгиба. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Метод и установка контроля плоскостности кремниевых пластин | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udc | 621.38 | ru |
| dc.relation.journal | Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal. - 2011. - №1(2). – С.71–76. | ru |
