Лазерная обработка кремния для создания микромеханических чувствительных элементов
Another Title
Laser processing of silicon to create micromechanical sensing elements
Bibliographic entry
Лазерная обработка кремния для создания микромеханических чувствительных элементов = Laser processing of silicon to create micromechanical sensing elements / О. Г. Реутская, И. А. Таратын, Д. Ю. Луданик, [и др.] // Приборостроение-2025 : материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2025 года Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : БНТУ, 2025. – С. 459-460.
Abstract
В работе рассматривается использование лазерной обработки кремния для создания высокочувствительных датчиков угла наклона и газового микроанализа. Проведён анализ технологических особенностей формирования и её влияния на параметры сенсоров.
Abstract in another language
The work considers the use of laser treatment of silicon to create high-sensitivity angle sensors and gas microanalysis. The analysis of technological formation and its influence on sensor parameters was carried out.