| dc.contributor.author | Реутская, О. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Таратын, И. А. | ru |
| dc.contributor.author | Луданик, Д. Ю. | ru |
| dc.contributor.author | Койро, А. В. | ru |
| dc.contributor.author | Войтеховский, А. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-01-14T07:23:19Z | |
| dc.date.available | 2026-01-14T07:23:19Z | |
| dc.date.issued | 2025 | |
| dc.identifier.citation | Лазерная обработка кремния для создания микромеханических чувствительных элементов = Laser processing of silicon to create micromechanical sensing elements / О. Г. Реутская, И. А. Таратын, Д. Ю. Луданик, [и др.] // Приборостроение-2025 : материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2025 года Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : БНТУ, 2025. – С. 459-460. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/162725 | |
| dc.description.abstract | В работе рассматривается использование лазерной обработки кремния для создания высокочувствительных датчиков угла наклона и газового микроанализа. Проведён анализ технологических особенностей формирования и её влияния на параметры сенсоров. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Лазерная обработка кремния для создания микромеханических чувствительных элементов | ru |
| dc.title.alternative | Laser processing of silicon to create micromechanical sensing elements | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| local.description.annotation | The work considers the use of laser treatment of silicon to create high-sensitivity angle sensors and gas microanalysis. The analysis of technological formation and its influence on sensor parameters was carried out. | ru |
