Снижение неравномерности магнитного поля протяженной магнетронной распылительной системы с вращающимся цилиндрическим катодом
Another Title
Reducing the nonuniformity of the magnetic field in an extended magnetron sputtering system with a rotating cylindrical cathode
Bibliographic entry
Снижение неравномерности магнитного поля протяженной магнетронной распылительной системы с вращающимся цилиндрическим катодом = Reducing the nonuniformity of the magnetic field in an extended magnetron sputtering system with a rotating cylindrical cathode / И. А. Сечко, В. М. Комаровская, А. С. Пологов, О. И. Терещук // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : сборник научных трудов : в 3 кн. / Государственное научное учреждение "Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси" ; редкол.: В. Г. Залесский (гл. ред.) [и др.]. – Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2023. – Кн. 2 : Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки. – С. 225-235.
Abstract
Проведено исследование распределения напряженности магнитного поля над поверхностью магнитной системы цилиндрического магнетрона. Показано, что применение шунтирующей накладки из магнитной стали марки SUS 420 J2 позволяет повысить однородность получаемого магнитного поля, что непосредственно влияет на равномерность напыляемых покрытий. При этом толщина накладки не влияет на ее выравнивающую способность, а с увеличением ее толщины снижается величина магнитной индукции над магнитными полюсами. Результаты физико-математического моделирования подтверждены экспериментально.
Abstract in another language
A study was made of the distribution of the magnetic field over the surface of the magnetic system in cylindrical magnetron. It is shown that the use of a magnetic steel grade SUS 420 J2 shunt makes it possible to increase the uniformity of the resulting magnetic field, which directly affects the uniformity of the sputtering coatings. At the same time, the thickness of the shunts does not affect its leveling ability, and with an increase in its thickness, the magnitude of the magnetic induction over the magnetic poles decreases. The results of physical and mathematical modeling are confirmed experimentally.