| dc.contributor.advisor | Комаровская, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Мацкевич, Э. П. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2023-03-24T10:45:36Z | |
| dc.date.available | 2023-03-24T10:45:36Z | |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.identifier.citation | Мацкевич, Э. П. Разработка технологической оснастки цилиндрической магнетронной распылительной системы / Э. П. Мацкевич ; науч. рук. В. М. Комаровская // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов (25 ноября 2022 г.) : в 2 ч. / редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – Ч. 2. – С. 68-71. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/126813 | |
| dc.description.abstract | В данной статье рассмотрены этапы проектирования технологической оснастки для цилиндрической МРС. Выбран материал мишени, ее форма и размеры. Также была спроектирована планетарная передача для осуществления вращения катода при статичной МРС. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Разработка технологической оснастки цилиндрической магнетронной распылительной системы | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
