Датчик измерения чистоты рабочей поверхности изделия в вакууме
Bibliographic entry
Коротченя, М. А. Датчик измерения чистоты рабочей поверхности изделия в вакууме / М. А. Коротченя, Д. И. Сивак ; науч. рук. В. В. Бабук // Инновационные технологии и образование : материалы международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2022 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – Ч. 2. – С. 356-359.
Abstract
Современное развитие нанотехнологий, как одного из приоритетных направлений современной науки, мнельзя представить без применения вакуумных устройств и технологий). Это связано с тем, что
именно в вакууме можно сохранить рабочую поверхность «атомарно-чистой» в течение всего технологического процесса.