| dc.contributor.advisor | Бабук, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Коротченя, М. А. | ru |
| dc.contributor.author | Сивак, Д. И. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2022-10-21T12:02:56Z | |
| dc.date.available | 2022-10-21T12:02:56Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.identifier.citation | Коротченя, М. А. Датчик измерения чистоты рабочей поверхности изделия в вакууме / М. А. Коротченя, Д. И. Сивак ; науч. рук. В. В. Бабук // Инновационные технологии и образование : материалы международной научно-практической конференции (Минск, 28 апреля 2022 г.) : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. М. Маляревич (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – Ч. 2. – С. 356-359. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/120891 | |
| dc.description.abstract | Современное развитие нанотехнологий, как одного из приоритетных направлений современной науки, мнельзя представить без применения вакуумных устройств и технологий). Это связано с тем, что
именно в вакууме можно сохранить рабочую поверхность «атомарно-чистой» в течение всего технологического процесса. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Датчик измерения чистоты рабочей поверхности изделия в вакууме | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
