Now showing items 1-5 of 5

    • MEMS датчики на основе SRR и E-LC метаповерхностей 

      Таратын, И. А.; Кернасовский, Ю. М.; Филатов, С. А.; Сафрошкина, И. В.; Долгих, М. Н. (БНТУ, 2025)
      Рассматриваются конструкции и особенности реализации чувствительных элементов термоэлектрических датчиков терагерцового и СВЧ диапазона на основе метаповерхностей с резонанснымиструктурами (разрезные сплит-кольца, Split-Ring Resonator, E-LC).
      2026-01-14
    • МЭМС датчик теплового потока с метаповерхностью 

      Филатов, С. А.; Кернасовский, Ю. М.; Таратын, И. А.; Долгих, М. Н.; Филатова, О. С.; Батырев, Е. В. (Интегралполиграф, 2024)
      В работе рассматриваются особенности создания датчиков теплового потока по МЭМС технологии с чувствительными термоэлектрическими элементами толщиной 20–80 нм (поликремний n- и p-типа, при этом каждая термопара состоит из контактирующих полосок поликремния p-типа и поликремния n-типа). на поверхности оптической мембраны толщиной до 200 нм, сформированной, как метаповерхность из ...
      2025-02-05
    • Обзор отечественных и зарубежных исследований по современному состоянию и проблемам в области создания датчиков теплового потока 

      Кернасовский, Ю. М. (БНТУ, 2025)
      В материалах представлены нектоторые результаты исследований в области создания датчиков теплового потока на основе технологий микроэлектромеханических систем (мэмс). Показано применение Датчиков в различных отраслях промышленности и необходимость и перспективность развития технологии МЭМС.
      2026-01-14
    • Разработка новых конструкций и технологий для датчиков нового поколения 

      Кернасовский, Ю. М.; Моспанов, А. Н.; Таратын, И. А. (БНТУ, 2022)
      Рассмотренны ключевые задачи и приоритеты научных и прикладных исследований по направлению разработки технологий для датчиков нового поколения.
      2022-12-28
    • Широкодиапазонные MEMS датчики теплового потока 

      Таратын, И. А.; Кернасовский, Ю. М.; Филатов, С. А. (БНТУ, 2021)
      Предложены новые решения позволяющие увеличить чувствительность и оптимизировать спектральный диапазон термоэлектрических многоэлементных МЭМС датчиков оптического излучения.
      2022-02-02