Широкодиапазонные MEMS датчики теплового потока
Another Title
P wide range heat flow MEMS sensors
Bibliographic entry
Таратын, И. А. Широкодиапазонные MEMS датчики теплового потока = P wide range heat flow MEMS sensors / И. А. Таратын, Ю. М. Кернасовский, С. А. Филатов // Приборостроение-2021 : материалы 14-й Международной научно-технической конференции, 17-19 ноября 2021 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2021. – С. 133-134.
Abstract
Предложены новые решения позволяющие увеличить чувствительность и оптимизировать спектральный диапазон термоэлектрических многоэлементных МЭМС датчиков оптического излучения.
Abstract in another language
New solutions are proposed that allow increasing the sensitivity and optimizing the spectral range of thermoelectric multielement MEMS sensors of optical radiation.Abstract up to 100 words.