MEMS датчики на основе SRR и E-LC метаповерхностей
Another Title
MEMS sensors on SRR and E-LC metasurfaces based
Bibliographic entry
MEMS датчики на основе SRR и E-LC метаповерхностей = MEMS sensors on SRR and E-LC metasurfaces based / И. А. Таратын, Ю. М. Кернасовский, С. А. Филатов, [и др.] // Приборостроение-2025 : материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2025 года Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : БНТУ, 2025. – С. 76-79.
Abstract
Рассматриваются конструкции и особенности реализации чувствительных элементов термоэлектрических датчиков терагерцового и СВЧ диапазона на основе метаповерхностей с резонанснымиструктурами (разрезные сплит-кольца, Split-Ring Resonator, E-LC).
Abstract in another language
The design and implementation feature of sensitive elements of thermoelectric sensors of the terahertz and microwave ranges based on metasurfaces with resonant structures (split-rings, Split-Ring Resonator, E-LC) are considered.