Формирование плазменных покрытий при резонансном режиме вибрации подложки
Bibliographic entry
Соколов, Ю. В. Формирование плазменных покрытий при резонансном режиме вибрации подложки / Ю. В. Соколов, М. А. Садоха, И. Г. Позняк // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Шестой международной научно-технической конференции : в 3 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев, Ф. А. Романюк, А. С. Калиниченко. – Минск : БНТУ, 2008. – Т. 1. – С. 216.