Формирование плазменных покрытий при резонансном режиме вибрации подложки
| dc.contributor.author | Соколов, Ю. В. | ru |
| dc.contributor.author | Садоха, М. А. | ru |
| dc.contributor.author | Позняк, И. Г. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2021-08-26T09:43:59Z | |
| dc.date.available | 2021-08-26T09:43:59Z | |
| dc.date.issued | 2008 | |
| dc.identifier.citation | Соколов, Ю. В. Формирование плазменных покрытий при резонансном режиме вибрации подложки / Ю. В. Соколов, М. А. Садоха, И. Г. Позняк // Наука - образованию, производству, экономике : материалы Шестой международной научно-технической конференции : в 3 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: Б. М. Хрусталев, Ф. А. Романюк, А. С. Калиниченко. – Минск : БНТУ, 2008. – Т. 1. – С. 216. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/99826 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Формирование плазменных покрытий при резонансном режиме вибрации подложки | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
