Now showing items 1-1 of 1

    • Критерий герметичности вакуумных камер установок ионного азотирования 

      Кагало, В. Г.; Корзун, А. Н. (БНТУ, 2021)
      В вакуумной технике одним из главных критериев работоспособности установки является ее герметичность, величина натекания в откачиваемый объём. В данной статье рассматривается допустимая величина натекания в вакуумную камеру при процессе ионно-плазменного азотирования (ИПА).
      2021-07-16