Газовые микросенсоры относятся к устройствам, позволяющим проводить анализ концентрации того или иного химического компонента в смеси газов. Использование наноструктурированного анодного оксида алюминия в конструкциях микросенсоров дает возможность создавать на поверхности подложек высокоразвитые структуры или рельефы для последующего нанесения чувствительных слоев газового ...