Четырехсенсорная газовая микросистема на подложке из пористого анодного оксида алюминия: конструкция, технология, моделирование
Bibliographic entry
Четырехсенсорная газовая микросистема на подложке из пористого анодного оксида алюминия: конструкция, технология, моделирование / О. Г. Реутская [и др.] // Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal. – 2013. – № 2(7). – С. 47 - 51.
Abstract
Разработаны конструкция и технология создания 4-сенсорной газовой микросистемы, изготавливаемой на подложках из нанопористого анодного оксида алюминия. Методом конечных элементов проведено моделирование температуры основных ее элементов и термомеханических деформаций, возникающих в конструкции при различных режимах работы микросистемы.
View/
Collections
- №2 ( 7 )[19]