Применение оборудования для автоматического контроля планарных структур в производстве оригиналов топологии интегральных схем на фотошаблонах
Bibliographic entry
Аваков, С. М. Применение оборудования для автоматического контроля планарных структур в производстве оригиналов топологии интегральных схем на фотошаблонах / С. М. Аваков // Вестник Белорусского национального технического университета : научно-технический журнал. – 2007. – № 6. – С. 64-70.
View/ Open
Collections
- №6[17]