Применение оборудования для автоматического контроля планарных структур в производстве оригиналов топологии интегральных схем на фотошаблонах

dc.contributor.author	Аваков, С. М.	ru
dc.coverage.spatial	Минск	ru
dc.date.accessioned	2014-05-05T06:43:09Z
dc.date.available	2014-05-05T06:43:09Z
dc.date.issued	2007
dc.identifier.citation	Аваков, С. М. Применение оборудования для автоматического контроля планарных структур в производстве оригиналов топологии интегральных схем на фотошаблонах / С. М. Аваков // Вестник Белорусского национального технического университета : научно-технический журнал. – 2007. – № 6. – С. 64-70.	ru
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/7262
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	БНТУ	ru
dc.title	Применение оборудования для автоматического контроля планарных структур в производстве оригиналов топологии интегральных схем на фотошаблонах	ru
dc.type	Article	ru