Получение тонких пленок ZnO с микродобавками соединений редкоземельных элементов при распылении керамических мишеней
Loading...
item.page.other-contributor
item.page.advisors
item.page.editors
Date
Publisher
item.page.issn
item.page.isbn
item.page.depon
item.page.diss
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
item.page.title-alternative
Production of thin films ZnO with additives of compound rare-earth elements for sputtering ceramic targets
Abstract
Разработан способ получения распыляемых керамических мишеней на основе оксида цинка путем импульсного и статического прессования порошка ZnO с добавками соединений редкоземельных элементов в количестве 1-4 мас.%. Исследован процесс ионно-лучевого распыления указанных мишеней и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка при легировании их оксидами и фторидами редкоземельных элементов.
item.page.description-other
Method of production sputtering ceramic targets on the base of ZnO are developed by impulse and static compaction of ZnO powder with additives (1-4 mas.%) of compound rare-earth elements. Process of ion-beam sputtering of given targets and electrophysical properties of thin films ZnO for doping oxides and fluorides of rare-earth elements are investigated.
Description
Citation
Получение тонких пленок ZnO с микродобавками соединений редкоземельных элементов при распылении керамических мишений = Production of thin films ZnO with additives of compound rare-earth elements for sputtering ceramic targets / В. М. Колешко [и др.] // Порошковая металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Национальная академия наук Беларуси, Государственное научно-производственное объединение порошковой металлургии, Государственное научное учреждение "Институт порошковой металлургии" ; гл. ред. П. А. Витязь. – Минск : Беларуская навука, 2011. – Вып. 34. - С. 106-111.