Получение тонких пленок ZnO с микродобавками соединений редкоземельных элементов при распылении керамических мишеней
Another Title
Production of thin films ZnO with additives of compound rare-earth elements for sputtering ceramic targets
Bibliographic entry
Получение тонких пленок ZnO с микродобавками соединений редкоземельных элементов при распылении керамических мишений = Production of thin films ZnO with additives of compound rare-earth elements for sputtering ceramic targets / В. М. Колешко [и др.] // Порошковая металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Национальная академия наук Беларуси, Государственное научно-производственное объединение порошковой металлургии, Государственное научное учреждение "Институт порошковой металлургии" ; гл. ред. П. А. Витязь. – Минск : Беларуская навука, 2011. – Вып. 34. - С. 106-111.
Abstract
Разработан способ получения распыляемых керамических мишеней на основе оксида цинка путем импульсного и статического прессования порошка ZnO с добавками соединений редкоземельных элементов в количестве 1-4 мас.%. Исследован процесс ионно-лучевого распыления указанных мишеней и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка при легировании их оксидами и фторидами редкоземельных элементов.
Abstract in another language
Method of production sputtering ceramic targets on the base of ZnO are developed by impulse and static compaction of ZnO powder with additives (1-4 mas.%) of compound rare-earth elements. Process of ion-beam sputtering of given targets and electrophysical properties of thin films ZnO for doping oxides and fluorides of rare-earth elements are investigated.