Получение тонких пленок ZnO с микродобавками соединений редкоземельных элементов при распылении керамических мишеней
| dc.contributor.author | Колешко, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Гулай, А. В. | ru |
| dc.contributor.author | Шевченок, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Гулай, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Кузнецова, Т. А. | ru |
| dc.contributor.author | Андреев, М. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-04-13T11:47:05Z | |
| dc.date.available | 2020-04-13T11:47:05Z | |
| dc.date.issued | 2011 | |
| dc.description.abstract | Разработан способ получения распыляемых керамических мишеней на основе оксида цинка путем импульсного и статического прессования порошка ZnO с добавками соединений редкоземельных элементов в количестве 1-4 мас.%. Исследован процесс ионно-лучевого распыления указанных мишеней и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка при легировании их оксидами и фторидами редкоземельных элементов. | ru |
| dc.identifier.citation | Получение тонких пленок ZnO с микродобавками соединений редкоземельных элементов при распылении керамических мишений = Production of thin films ZnO with additives of compound rare-earth elements for sputtering ceramic targets / В. М. Колешко [и др.] // Порошковая металлургия : республиканский межведомственный сборник научных трудов / Национальная академия наук Беларуси, Государственное научно-производственное объединение порошковой металлургии, Государственное научное учреждение "Институт порошковой металлургии" ; гл. ред. П. А. Витязь. – Минск : Беларуская навука, 2011. – Вып. 34. - С. 106-111. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/71778 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Беларуская навука | bel |
| dc.title | Получение тонких пленок ZnO с микродобавками соединений редкоземельных элементов при распылении керамических мишеней | ru |
| dc.title.alternative | Production of thin films ZnO with additives of compound rare-earth elements for sputtering ceramic targets | en |
| dc.type | Article | ru |
| local.description.annotation | Method of production sputtering ceramic targets on the base of ZnO are developed by impulse and static compaction of ZnO powder with additives (1-4 mas.%) of compound rare-earth elements. Process of ion-beam sputtering of given targets and electrophysical properties of thin films ZnO for doping oxides and fluorides of rare-earth elements are investigated. | en |
Files
Original bundle
1 - 1 of 1
Loading...
- Name:
- Poluchenie_tonkih_plenok_ZnO_s_mikrodobavkami.pdf
- Size:
- 5.63 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description: