Модернизация вакуумной установки ВУ-700 для получения пленок металлов с целью предсерийной отработки процессов производства изделий микроэлектроники

Thumbnail
Authors
Цыпленков, Я. Г.
Date
2020
URI
https://rep.bntu.by/handle/data/70533
View/Open
Collections
Show full item record
CORE Recommender