Модернизация вакуумной установки  ВУ-700 для получения пленок металлов с целью предсерийной отработки процессов производства изделий микроэлектроники

dc.contributor.author	Цыпленков, Я. Г.
dc.date.accessioned	2020-04-09T12:52:37Z
dc.date.available	2020-04-09T12:52:37Z
dc.date.issued	2020
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/70533
dc.subject	Реферат	ru
dc.title	Модернизация вакуумной установки ВУ-700 для получения пленок металлов с целью предсерийной отработки процессов производства изделий микроэлектроники	ru