Фотолитография: от истоков процесса до будущих открытий в области полупроводниковой промышленности
Authors
xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-advisor
Date
2018Publisher
Bibliographic entry
Рябцев, Р. Л. Фотолитография: от истоков процесса до будущих открытий в области полупроводниковой промышленности / Р. Л. Рябцев ; науч. рук. В. М. Комаровская // Современные технологии в образовании : материалы международной научно-практической конференции, 29‒30 ноября 2018 г. : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: С. В. Харитончик [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – Ч. 2. – С. 306-309.