Фотолитография: от истоков процесса до будущих открытий в области полупроводниковой промышленности
| dc.contributor.advisor | Комаровская, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Рябцев, Р. Л. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-03-27T07:35:55Z | |
| dc.date.available | 2020-03-27T07:35:55Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Рябцев, Р. Л. Фотолитография: от истоков процесса до будущих открытий в области полупроводниковой промышленности / Р. Л. Рябцев ; науч. рук. В. М. Комаровская // Современные технологии в образовании : материалы международной научно-практической конференции, 29‒30 ноября 2018 г. : в 2 ч. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: С. В. Харитончик [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – Ч. 2. – С. 306-309. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/69269 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Фотолитография: от истоков процесса до будущих открытий в области полупроводниковой промышленности | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
