Browsing Приборы и методы измерений by Author "Чижик, С. А."

Now showing items 1-2 of 2

    • Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем 

      Чижик, С. А.; Басалаев, С. П.; Пилипенко, В. А.; Худолей, А. Л.; Кузнецова, Т. А.; Чикунов, В. В.; Суслов, А. А. (БНТУ, 2013)
      Описаны преимущества использования атомно-силовой микроскопии для контроля технологических процессов при изготовлении интегральных микросхем субмикро- электроники. Показана возможность визуализации морфологии поверхностей и профиля травления, оценки периодичности гребенок шин, определения стабильности размеров для одной шины. Выполнены работы по совмещению оптической и атомно-силовой ...
      2013-11-01

    • Методы сканирующей зондовой микроскопии в микро- и наномеханике 

      Чижик, С. А.; Сыроежкин, С. В. (БНТУ, 2010)
      В работе представлены методы оценки локальных физико-механических свойств материалов в наномасштабе, реализованных на базе сканирующего зондового микроскопа: картографические поверхности с помощью изображений контраста; статическая и динамическая силовая спектроскопия, процедуры наноизнашивания, осциллирующая микротрибология.
      2012-03-23