Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем

Чижик, С. А.; Басалаев, С. П.; Пилипенко, В. А.; Худолей, А. Л.; Кузнецова, Т. А.; Чикунов, В. В.; Суслов, А. А.

Authors

Date

2013

Publisher

БНТУ

xmlui.dri2xhtml.METS-1.0.item-identifier-udc

53.083.91

Bibliographic entry

Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем / Чижик С. А., Басалаев С. П., Пилипенко В. А., Худолей А. Л., Кузнецова Т. А., Чикунов В. В., Суслов А. А. // Приборы и методы измерений: научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal / гл. ред. Гусев О. К. ; кол. авт. Министерство образования Республики Беларусь ; кол. авт. Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2013 . - № 1(6). - С. 14 - 18

Abstract

Описаны преимущества использования атомно-силовой микроскопии для контроля технологических процессов при изготовлении интегральных микросхем субмикро- электроники. Показана возможность визуализации морфологии поверхностей и профиля травления, оценки периодичности гребенок шин, определения стабильности размеров для одной шины. Выполнены работы по совмещению оптической и атомно-силовой микроскопии, разработан и изготовлен сканирующий зондовый микроскоп. Комплекс внедрен для промышленного неразрушающего контроля субмикроэлектроники, выполненной на кремниевых пластинах диаметром до 200 мм, с целью осуществления операционного контроля, метрологических измерений и приемки качества готовой продукции.