Browsing Приборы и методы измерений by Author "Белогуров, Е. А."
Now showing items 1-2 of 2
-
Конструирование газовых микросистем на основе нанопористого анодного оксида алюминия
Белогуров, Е. А.; Шукевич, Я. И.; Баркалин, В. В.; Хатько, В. В.; Таратын, И. А. (БНТУ, 2011)Установлено влияние пористости подложки из анодного оксида алюминия на основные параметры 4-сенсорной газовой микросистемы. В расчетах использованы зависимости компонентов тензоров модуля упругости и теплопроводности от пористости для α-Al2O3, полученные методом конечных элементов. (E-mail: viacheslav.khatko@gmail.com)2012-03-27 -
Четырехсенсорная газовая микросистема на подложке из пористого анодного оксида алюминия: конструкция, технология, моделирование
Реутская, О. Г.; Белогуров, Е. А.; Таратын, И. А.; Хатько, В. В. (БНТУ, 2013)Разработаны конструкция и технология создания 4-сенсорной газовой микросистемы, изготавливаемой на подложках из нанопористого анодного оксида алюминия. Методом конечных элементов проведено моделирование температуры основных ее элементов и термомеханических деформаций, возникающих в конструкции при различных режимах работы микросистемы.2014-06-02