Оптимизация установки для определения и анализа точечных дефектов на поверхности полупроводниковых пластин / С. Я. Прислопский [и др.] // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 463-465.