Оптимизация установки для определения и анализа точечных дефектов на поверхности полупроводниковых пластин
| dc.contributor.author | Прислопский, С. Я. | ru |
| dc.contributor.author | Смирнов, А. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Станкевич, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Балыкин, И. В. | ru |
| dc.contributor.author | Рыжевич, А. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-01-03T09:44:20Z | |
| dc.date.available | 2020-01-03T09:44:20Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Оптимизация установки для определения и анализа точечных дефектов на поверхности полупроводниковых пластин / С. Я. Прислопский [и др.] // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 463-465. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/62282 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Оптимизация установки для определения и анализа точечных дефектов на поверхности полупроводниковых пластин | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
