Browsing Сериальные издания by Author "Тявловский, А. К."

Now showing items 1-12 of 12

    • Анализ дефектов поверхности исходных подложек алюминия и его сплавов методом сканирующего зонда Кельвина 

      Тявловский, А. К.; Жарин, А. Л.; Гусев, О. К.; Воробей, Р. И.; Мухуров, Н. И.; Шаронов, Г. В.; Пантелеев, К. В. (БНТУ, 2017)
      В настоящее время использование методов зондовой электрометрии в неразрушающем контроле сдерживается сложностью интерпретации результатов измерений, что связано с многофакторностью измерительного сигнала, зависящего от большого количества параметров физико-химического состояния поверхности: отклонений химического состава, механических напряжений, дислокаций, кристаллографической ...
      2017-03-02

    • Анализ метода измерения поверхностного потенциала диэлектриков по схеме токовой компенсации 

      Тявловский, А. К.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2011)
      Проведен сравнительный анализ динамических зондовых методов измерения поверхностного потенциала. Показано, что для бесконтактных измерений поверхностного потенциала диэлектриков в широком диапазоне значений оптимальным является использование схемы с токовой компенсацией. Преимуществами данной схемы являются высокое пространственное разрешение, широкий диапазон измерений поверхностного ...
      2012-03-28

    • Измерение электрического потенциала поверхности с использованием статического зонда 

      Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Микитевич, В. А.; Пантелеев, К. В.; Самарина, А. В.; Свистун, А. И.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л. (БНТУ, 2023)
      Методы контроля изменений электрического потенциала поверхности широко используются в операциях неразрушающего контроля прецизионных поверхностей, например, в электронной промышленности в процессе изготовления полупроводниковых приборов. Целью работы является расширение области применения методик бесконтактного контроля и измерения электрического потенциала поверхности на основе ...
      2023-08-15

    • Измерительные преобразователи систем оптической диагностики с многофункциональными одноэлементными фотоприемниками 

      Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Свистун, А. И.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Шадурская, Л. И. (БНТУ, 2018)
      Современные измерительные преобразователи систем оптической диагностики должны автоматически оценивать параметры оптического сигнала и переключаться между различными диапазонами энергетической и спектральной характеристиками чувствительности. Это требует применения нескольких фотоприемников, сложных оптических схем и сложных алгоритмов обработки измерительных сигналов. Целью ...
      2018-09-18

    • Исследование накопления заряда статического электричества на поверхности изделий из фторопласта-4 методом вибрирующего конденсатора 

      Вершина, Г. А.; Жарин, А. Л.; Тявловский, А. К. (БНТУ, 2012)
      Вершина, Г. А. Исследование накопления заряда статического электричества на поверхности изделий из фторопласта-4 методом вибрирующего конденсатора / Г. А. Вершина, А. Л. Жарин, А. К. Тявловский // Наука и техника: международный научно-технический журнал. - 2012. - N 1. - С. 26-32.
      2012-05-17

    • Компенсация погрешностей измерения электрического потенциала при уменьшении размеров зонда Кельвина 

      Тявловский, А. К.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2013)
      Представлены результаты моделирования измерительной цепи, содержащей динамический конденсатор, методом комплексно-гармонического анализа. Из-за малого значения нормированной частоты вибрации измерительный сигнал зонда Кельвина с чувствительным элементом малых размеров характеризуется значительными гармоническими искажениями, приводящими к резкому увеличению погрешности измерений. ...
      2014-06-02

    • Контроль дефектов структуры кремний-диэлектрик на основе анализа пространственного распределения потенциала по поверхности полупроводниковых пластин 

      Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Турцевич, А. С.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л. (БНТУ, 2013)
      Рассмотрено применение метода Кельвина–Зисмана (контактной разности потенциалов) для неразрушающего контроля и выявления дефектов структур кремний-диэлектрик. Метод использовался для визуализации распределения электрического потенциала поверхности и изгиба энергетических зон по поверхности термически окисленной кремниевой пластины, легированной бором. Полученная картина распределения ...
      2014-06-02

    • Многофункциональный измерительный преобразователь параметров жидких технологических сред 

      Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Кузьминский, Ю. Г.; Свистун, А. И.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Шилько, С. В. (БНТУ, 2012)
      Для разработки многофункционального измерительного преобразователя концентрации и типа раствора в технологическом трубопроводе использована методология измерений параметров объектов в неопределенных состояниях. Показано, что режимы измерений концентрации и типа раствора могут быть реализованы в одном одноэлементном кондуктометрическом преобразователе при условии адаптивного ...
      2013-02-13

    • Моделирование метрологических характеристик емкостных первичных преобразователей средств зондовой электрометрии 

      Тявловский, А. К.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2011)
      Для определения функции преобразования емкостного первичного преобразователя зондового электрометра использован метод комплексно-гармонического анализа. Получено выражение, позволяющее анализировать метрологические характеристики цепи, содержащей динамический конденсатор при любых значениях ее параметров. Проанализированы амплитудно-частотные и фазочастотные характеристики цепи ...
      2012-03-26

    • Режим самокалибровки зонда Кельвина для контроля электрофизических параметров полупроводниковых пластин 

      Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Турцевич, А. С.; Тявловский, А. К. (БНТУ, 2014)
      Повышение воспроизводимости и достоверности результатов контроля электрофизических параметров полупроводниковых пластин зондовыми зарядочувствительными методами обеспечивается в работе за счет реализации режима самокалибровки зонда Кельвина, при котором в качестве образца для калибровки используется поверхность самой контролируемой пластины. Измерения выполняются в сканирующем ...
      2014-12-17

    • Характеризация электрофизических свойств границы раздела кремний-двуокись кремния с использованием методов зондовой электрометрии 

      Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Филипеня, В. А.; Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Пантелеев, К. В.; Свистун, А. И.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л. (БНТУ, 2017)
      Анализ микронеоднородностей в системе кремний-двуокись кремния становится наиболее актуальным в связи с переходом микроэлектронной промышленности к субмикронным проектным нормам и уменьшением толщины подзатворного диэлектрика. Целью исследования являлось развитие методов неразрушающего контроля полупроводниковых пластин на основе определения электрофизических свойств границы ...
      2017-12-15

    • Цифровой измеритель контактной разности потенциалов 

      Пантелеев, К. В.; Свистун, А. И.; Тявловский, А. К.; Жарин, А. Л. (БНТУ, 2016)
      В настоящее время принципы построения аналоговых измерителей контактной разности потенциалов достаточно хорошо отработаны. Однако остаются и некоторые недостатки. Из-за влияния ряда паразитных факторов, аналоговые измерители имеют область неопределенности и значительную погрешность. Для достижения высокой точности требуется интеграция сигнала с постоянной времени не менее нескольких ...
      2016-09-11