Белорусский национальный технический университет
Repository of the Belarusian National Technical University
ISSN: 2310-7405
Repository of the Belarusian National Technical University
View Item 
  •   Repository BNTU
  • Сериальные издания
  • Приборы и методы измерений
  • 2023
  • Т. 14, № 2
  • View Item
  •   Repository BNTU
  • Сериальные издания
  • Приборы и методы измерений
  • 2023
  • Т. 14, № 2
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Измерение электрического потенциала поверхности с использованием статического зонда

Thumbnail
DOI
10.21122/2220-9506-2023-14-2-135-144
Authors
Воробей, Р. И.
Гусев, О. К.
Жарин, А. Л.
Микитевич, В. А.
Пантелеев, К. В.
Самарина, А. В.
Свистун, А. И.
Тявловский, А. К.
Тявловский, К. Л.
Date
2023
Publisher
БНТУ
Another Title
Surface Electric Potential Measurement with a Static Probe
Bibliographic entry
Измерение электрического потенциала поверхности с использованием статического зонда = Surface Electric Potential Measurement with a Static Probe / Р. И. Воробей [и др.] // Приборы и методы измерений. – 2023. – Т. 14, № 2. – С. 135-144.
Abstract
Методы контроля изменений электрического потенциала поверхности широко используются в операциях неразрушающего контроля прецизионных поверхностей, например, в электронной промышленности в процессе изготовления полупроводниковых приборов. Целью работы является расширение области применения методик бесконтактного контроля и измерения электрического потенциала поверхности на основе использования статического отсчётного электрода. Рассмотрены особенности построения и применения устройств измерения электрического потенциала поверхности с использованием неподвижного отсчётного электрода. Несмотря на необходимость увеличения площади зонда по сравнению с устройствами, использующими вибрирующий зонд, методики измерения с неподвижным зондом имеют ряд преимуществ и расширяют область применения измерений электрического потенциала поверхности в контроле изделий с прецизионными поверхностями. Приведены модели формирования измерительного сигнала при наличии пространственной неоднородности электрического потенциала поверхности.
Abstract in another language
Surface electric potential measurements are widely used in non-destructive inspection and testing of precision surfaces, for example, in the production of semiconductor devices and integrated circuits. Features of the construction and application of devices for measuring the surface electric potential using an immovable reference electrode are considered. Despite the need to increase the area of the probe compared to devices with a vibrating probe, measurement techniques with an immovable probe have a number of advantages and could expand the scope of surface electric potential measurements in the inspection of samples with precise surfaces. Models of the formation of a measuring signal in the presence of a spatial inhomogeneity of surface electric potential are presented and discussed.
URI
https://rep.bntu.by/handle/data/133673
View/Open
135-144.pdf (557.3Kb)
Collections
  • Т. 14, № 2[7]
Show full item record
CORE Recommender

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
 

Browse

All of Repository BNTUCommunities & CollectionsAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateTypeThis CollectionAuthorsTitlesBy Issue DatePublisherBy Submit DateType

My Account

LoginRegister

Belarusian National Technical University | Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us
Яндекс.МетрикаIP Geolocation by DB-IP
Science Library | About Repository | Размещение в Репозитории | Contact Us