Компенсация погрешностей измерения электрического потенциала при уменьшении размеров зонда Кельвина
Bibliographic entry
Тявловский, А. К. Компенсация погрешностей измерения электрического потенциала при уменьшении размеров зонда Кельвина / А. К. Тявловский, А. Л. Жарин // Приборы и методы измерений : научно-технический журнал = Devices and methods of measurements : Scientific and Engineering Journal. – 2013. – № 2(7). – С. 35 - 41.
Abstract
Представлены результаты моделирования измерительной цепи, содержащей динамический конденсатор, методом комплексно-гармонического анализа. Из-за малого значения нормированной частоты вибрации измерительный сигнал зонда Кельвина с чувствительным элементом малых размеров характеризуется значительными гармоническими искажениями, приводящими к резкому увеличению погрешности измерений. Уменьшение погрешностей может быть обеспечено за счет регистрации сигнала на его второй гармонике и контроля величины зазора зонд-образец на основе измерений отношения амплитуд первой и второй гармоники сигнала.
View/
Collections
- №2 ( 7 )[19]